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심우영 교수
신소재공학과 심우영 교수, 「2020년도 10대 나노기술」에 선정 신소재공학과
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신소재공학과 심우영 교수, 「2020년도 10대 나노기술」에 선정
신소재공학과 심우영 교수의 ‘유연한 포토마스크를 이용한 비평면 포토리소그래피 기술’이 과학기술정보통신부와 산업통상자원부가 선정한 「2020년도 10대 나노기술」로 선정됐다.
과학기술정보통신부와 산업통상자원부는 11월 26일 서울 양재 엘타워에서 개최한 '2020 나노융합성과전'에서 올해의 10대 나노기술을 발표하고 나노기술·산업 발전 유공자에게 장관 표창 등을 수여했다.
반도체 산업의 근간이라 할 수 있는 포토리소그래피는 빛을 감지하는 고분자가 도포된 기판 위에 부분적으로 빛을 조사하여 패턴을 형성하는 기술이다. 기존에 사용하고 있는 포토리소그래피 기술은 정교한 패터닝을 위하여 고가의 수입 장비를 활용하기 때문에 높은 공정 비용이 발생하는 문제가 있었다.
심우영 교수 연구팀은 기존의 포토리소그래피 장비에 사용되던 단단한 유리 포토마스크를 유연한 고분자 포토마스크로 대체하여 기판과 포토마스크가 완전히 접촉하여 회절 영향이 없는 고해상도의 포토리소그래피 구현을 가능하게 하였다.
이 기술은 평면 기판에 제한적인 패턴만 가능했던 기존 기술과 달리 어떤 모양의 기판에도 유연한 패터닝이 가능하며, 기존의 디스플레이용 노광장비로 현재 만들 수 있는 크기의 100분의 1 수준인 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 하였다. 이는 웨어러블 및 플렉서블 디바이스에 적용할 수 있다.
심우영 교수는 "10대 나노기술에 선정되어 매우 영광이다. 포토리소그래피는 핵심공정기술로 향후 우리나라가 소재공정기술에 세계적인 우위를 점할 수 있도록 관련 연구에 계속 매진하겠다"고 밝혔다.
기사 바로보기 ▶ (한국경제) '인체삽입 의료기기용 나노발전소자'등 10대 나노기술 선정
기사 바로보기 ▶ (아이뉴스24) "2020년 10대 나노기술…나노발전소자·발열 소재 등'
연구진
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심우영 교수
연세대학교 공과대학 신소재공학
WSHIM@YONSEI.AC.KR
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